Orbit

院长

  • 姓名 : 张 翼
  • 职称 : 教授
  • 电子邮件 : edc@mail.nctu.edu.tw
  • 联络电话 : 03-5712121 ext. 31536/31502
  • 研究专长 :
    砷化镓高频电晶体技术、化合物光电半导体元件与制程、三五族材料磊晶技术、半导体材料分析

    1. GaN, GaAs及InP等磊晶材料系统(MOCVD及MBE)
    2. Si晶圆上成长三五族半导体磊晶(III-V/Si整合)
    3. SiGe磊晶成长(UHVCVD)
    4. 三五族高频电晶体元件制作技术:RIE&ICP etcher、PECVD、Sputter、E-Beam Lithography
    5. GaN LED 材料磊晶成长与元件制作
    6. 氮化镓功率电晶体磊晶材料成长与元件制作

副院长

  • 姓名 : 陈 冠能
  • 职称 : 教授
  • 电子邮件 : knchen@mail.nctu.edu.tw
  • 联络电话 : 03-5712121 ext. 31558
  • 研究专长 :
    1.三维积体电路 (3D IC)
    2.异质整合技术及元件
    3.晶圆接合技术
    4.矽晶直通孔 (TSV)
    5.晶圆薄化技术