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院長

  • 姓名 : 張 翼
  • 職稱 : 教授
  • 電子郵件 : edc@mail.nctu.edu.tw
  • 聯絡電話 : 03-5712121 ext. 31536/31502
  • 研究專長 :
    砷化鎵高頻電晶體技術、化合物光電半導體元件與製程、三五族材料磊晶技術、半導體材料分析

    1. GaN, GaAs及InP等磊晶材料系統(MOCVD及MBE)
    2. Si晶圓上成長三五族半導體磊晶(III-V/Si整合)
    3. SiGe磊晶成長(UHVCVD)
    4. 三五族高頻電晶體元件製作技術:RIE&ICP etcher、PECVD、Sputter、E-Beam Lithography
    5. GaN LED 材料磊晶成長與元件製作
    6. 氮化鎵功率電晶體磊晶材料成長與元件製作

副院長

  • 姓名 : 陳 冠能
  • 職稱 : 教授
  • 電子郵件 : knchen@mail.nctu.edu.tw
  • 聯絡電話 : 03-5712121 ext. 31558
  • 研究專長 :
    1.三維積體電路 (3D IC)
    2.異質整合技術及元件
    3.晶圓接合技術
    4.矽晶直通孔 (TSV)
    5.晶圓薄化技術